低溫等離子（zǐ）廢（fèi）氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生（shēng）等離子體的密度（dù）大，初（chū）用於氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，後延伸至工業惡臭、異味。

低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等（děng）離（lí）子體（tǐ）的密度（dù）大，初用於氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，後延伸至工業惡臭（chòu）、異味、有毒有害氣體處理。

該技（jì）術節能、環保（bǎo），應用範圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英（yīng）有良好的分解效果。

等（děng）離子體工業廢氣處理技術已研製出標準化廢氣治理設備，利用所產生的（de）電子（zǐ）、自由基等活性粒子（zǐ）激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複（fù）雜的化學反應，再經過多級淨化，從而消（xiāo）除各種汙染源排放的異（yì）味、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環（huán）境（jìng）。由於其（qí）對汙染物分（fèn）子的分解且處理能（néng）耗低等特點，為工（gōng）業廢氣（qì）的處理開辟了一條（tiáo）新的思路。

作用原理：

低溫等離子體是（shì）繼固態、液態、氣態之後的物質第四態，當外加（jiā）電壓達到氣體的（de）放電電壓（yā）時，氣體被擊穿，產生包括電子（zǐ）、各種（zhǒng）離子、原子（zǐ）和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒（lì）子溫度很低，整個體係呈現低溫（wēn）狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解汙染物是利用這些電子、自由基等活（huó）性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在極短的時間內發生分解，並（bìng）發生後續的各種反應以達到降解（jiě）汙染物的目的。（注：低溫（wēn）等離子體相對於高溫等離（lí）子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體（tǐ）反應區富（fù）含（hán）物質，如電子、離子、自由基和（hé）激發態分子等，廢（fèi）氣中的汙染物質可與這些具有（yǒu）較（jiào）量的物質發生反應，使汙染物質在極短的時間內發生分解（jiě），並發生後續的各（gè）種反（fǎn）應以達到降解汙染（rǎn）物的目的。