低溫等離子廢氣處理技術，采用雙（shuāng）介質阻擋放電形式產生等離（lí）子體，所產生等離（lí）子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質（zhì）的分解（jiě）處理，後延（yán）伸至工業惡臭、異味。

低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放（fàng）電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利（lì）昂類、哈（hā）隆類物質（zhì）的分解處理，後延（yán）伸至工業惡（è）臭、異味、有毒有害氣體處理。

該技（jì）術節能、環保，應用範圍（wéi）廣，所有（yǒu）化工生產環節產生的惡臭異味（wèi）幾乎都（dōu）可以處理，並對二惡英（yīng）有（yǒu）良好的分解（jiě）效果。

等離子（zǐ）體工業廢氣處理技術已研製出標準（zhǔn）化廢（fèi）氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些（xiē）列複雜的化學（xué）反應，再經過多級淨化，從而消除各種汙染源排放的異味、臭味汙染物，使有毒有害氣體（tǐ）達到低毒化（huà），保護人類生存環境。由於其對汙染物分（fèn）子的分解且處（chù）理能耗（hào）低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新（xīn）的思（sī）路。

作用原理：

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態（tài）之後的物質第四（sì）態，當外加電（diàn）壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中（zhōng）雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解汙染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染物分子在（zài）極短的時間內發生分解（jiě），並發生後續（xù）的各種反應以達到降（jiàng）解汙染物的目（mù）的（de）。（注：低溫等離子體相對於高溫等離子體而言，屬（shǔ）於常溫運行。）

等離（lí）子體反應區富含物質，如電子、離子、自由基和激發（fā）態分子等，廢氣中的汙染物質可與這些具有較量的物質發生反（fǎn）應，使汙染物質在極短的時間內發生分解，並發（fā）生後續的各種反應以達到（dào）降解汙染物的目的。