低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂類（lèi）、哈隆類物質的分解（jiě）處理，後延伸至工業惡臭、異味。

低溫等離（lí）子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆（lóng）類物質的分（fèn）解處理，後延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣（qì）體處理。

該（gāi）技術節能、環保（bǎo），應用範（fàn）圍廣，所有化工生產環節產生的惡（è）臭異味幾（jǐ）乎都（dōu）可以處理，並對（duì）二惡英有良好的分（fèn）解效（xiào）果。

等（děng）離子體工業廢氣處理技術已研製出標準化廢氣治理（lǐ）設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子激活、電離（lí）、裂解工業（yè）廢氣中的各組成份（fèn），使之（zhī）發（fā）生分解（jiě），氧化等一些列（liè）複（fù）雜的化學反應，再經過多級淨化（huà），從（cóng）而（ér）消除各種汙染源排放（fàng）的異味、臭味汙染物，使有毒（dú）有（yǒu）害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。由於其對汙染物分子的分解且處理能耗低等特點（diǎn），為（wéi）工業廢氣的處理開辟了一條新的思（sī）路。

作用（yòng）原理：

低溫等離（lí）子體是繼固態、液態、氣態之後的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體（tǐ）被擊穿，產生包括電（diàn）子、各種（zhǒng）離子、原子和（hé）自由基在內的混合體。放電過（guò）程中雖然電子溫度很高，但重（chóng）粒子溫度（dù）很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解汙染物是利（lì）用這（zhè）些電子、自（zì）由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使汙染（rǎn）物分子在極（jí）短的時間（jiān）內發生（shēng）分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物的目的。（注：低溫等離子體（tǐ）相對於（yú）高溫等離子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體反應區富含物質，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的汙染物質可（kě）與這些具（jù）有較量的物質發生反應，使汙染物質在極短的（de）時間內（nèi）發生分解，並發生（shēng）後續的各種反應以（yǐ）達到降（jiàng）解汙染物的目的。