低溫（wēn）等（děng）離（lí）子廢氣處理技術，采用雙介質阻（zǔ）擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密（mì）度大，初用（yòng）於氟利昂類（lèi）、哈隆類物質的分解處理，後延（yán）伸至工業惡臭、異味。

低溫等離子廢氣處理技術，采（cǎi）用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生（shēng）等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物（wù）質的分解處理，後延伸至工業惡（è）臭、異味、有毒有害（hài）氣體處（chù）理。

該技術節能（néng）、環保，應（yīng）用（yòng）範圍（wéi）廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的分解效果（guǒ）。

等離子體工業（yè）廢氣處理技術已研製出標準化廢氣治（zhì）理設（shè）備，利用所產生的（de）電子、自由基等活性粒子激（jī）活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的化學反應，再經過多級淨化，從而（ér）消除各種汙染源排放的（de）異味、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到低毒（dú）化，保護人類生存環境。由於其對汙染物分子的（de）分（fèn）解且處理能耗低等（děng）特點，為工業廢氣的（de）處理開辟（pì）了一條新的思路。

作用原理（lǐ）：

低溫等離子體是繼固態、液態、氣（qì）態之後的物質第四態，當（dāng）外加電壓達到氣（qì）體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子（zǐ）和自（zì）由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等（děng）離子體。

低溫（wēn）等離子體降解汙染物（wù）是利用（yòng）這些（xiē）電子、自（zì）由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用（yòng），使汙染物（wù）分子在極短的時間內發生分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物的目（mù）的。（注：低溫等離子體相對於高（gāo）溫等離子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體反應區富含物質，如電子、離子、自由（yóu）基（jī）和激發態分子等，廢氣中的汙染物質可（kě）與這些具有較量的物質（zhì）發生反應（yīng），使汙染物（wù）質在（zài）極短的時間內發生分解，並（bìng）發（fā）生後續的各種反應以達到降解汙染物的目的。