低溫等（děng）離子（zǐ）廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產（chǎn）生等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類（lèi）物質的分解處理，後延伸至工業惡臭、異味（wèi）。

低溫等離子（zǐ）廢氣處理技（jì）術（shù），采（cǎi）用雙介質阻擋放電形式產生（shēng）等離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂類（lèi）、哈隆類物質的分（fèn）解處理，後延（yán）伸（shēn）至工業惡臭、異味（wèi）、有毒有（yǒu）害氣體處理。

該技術節（jiē）能、環保，應（yīng）用範圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異（yì）味幾乎（hū）都可以處理，並對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已研製出標準（zhǔn）化（huà）廢（fèi）氣治理設（shè）備，利用所產生的電子、自由基等活性粒（lì）子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的化學反應，再經過多級淨化，從而消除各（gè）種汙染源排（pái）放的異（yì）味、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。由於其對汙染（rǎn）物分（fèn）子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

作用原理：

低溫（wēn）等離子體（tǐ）是繼固態、液態、氣態之後的物（wù）質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被（bèi）擊穿，產生包（bāo）括電子、各種離子、原子和自由基在（zài）內的混合體。放電過程中雖然電（diàn）子溫度很高（gāo），但（dàn）重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫（wēn）等離（lí）子體。

低溫等離子體（tǐ）降解汙染物是利（lì）用這些電子、自由基等活性粒子和廢（fèi）氣中的汙染物（wù）作（zuò）用，使汙染物分子在極（jí）短的時間內發生分解，並發生後（hòu）續的各種（zhǒng）反應以達（dá）到降（jiàng）解汙染物的目的。（注：低溫等離子體相對於高溫等離子（zǐ）體而言，屬於常溫運行。）

等離子體（tǐ）反應區富（fù）含物質，如（rú）電子、離（lí）子、自由基（jī）和激發態分子等，廢氣中的汙染（rǎn）物質可與這些具有較量的物質發生反（fǎn）應，使汙染物質在極短的（de）時間內（nèi）發生分解，並發生後續的各種反應以（yǐ）達（dá）到降（jiàng）解（jiě）汙染物的目的。